중국이 자체 개발 반도체 제조 장비 대량 생산 진입, ASML 의존도 감소.

중국이 자체 심자외선(DUV) 리소그래피 장비의 대량 생산에 착수했으며, ASML 투자자들은 이로 인해 약 440억 달러의 시가총액이 증발하는 것을 지켜봐야 했다.

7월 27일, 상하이 기반 컨소시엄이 국산 침투식 DUV 스캐너를 중국 반도체 기업들에게 출하하기 시작했다는 보도가 나왔다. 이는 워싱턴과 네덜란드가 첨단 리소그래피 장비에 대한 수출 통제를 강화한 이후 베이징이 추구해 온 이정표다. 블룸버그에 따르면 이날 ASML 주가는 최대 8% 하락했으며, 이는 지난 7월 초 이후 네덜란드 장비 제조사의 단일 거래일 기준 가장 가파른 낙세였다.

보도에 따르면 이 장비들은 상하이 아이셩나 전자기술 그룹에서 제작되었으며, 상하이 위리앙셩 기술의 엔지니어링 팀, 화웨이와 연관된 사이캐리어(SiCarrier), 그리고 중국의 국가적 리소그래피 챔피언인 SMEE로부터 이전된 인력과 기술을 결합하여 조립되었다. SMIC는 2025년 9월 초기 단위 테스트를 시작했다. CNBC와 아시아 타임스는 이번 주 이 기계들이 프로토타입 단계에서 SMIC, 화홍반도체(Hua Hong Semiconductor), 메모리 제조사 창신메모리테크놀로지(ChangXin Memory Technologies)로 향하는 제한적인 양산 단계로 전환 중이라고 보도했다.

이는 EUV 돌파구가 아니다. 이들은 자동차 및 산업용 장비에 사용되는 성숙 공정인 28나노미터 공정에 등급이 매겨진 침투식 DUV, 즉 ArFi 머신이다. 엔비디아의 최신 GPU나 애플의 최신 스마트폰을 구동하는 서브-3나노미터 노드와는 거리가 멀다. 중국은 다중 패터닝(multi-patterning) 기법을 통해 이 장비들이 7나노미터에 도달할 수 있다고 주장하는데, 이는 더 미세한 디테일을 달성하기 위해 여러 번의 노출 공정을 쌓아 올리는 기술이다. 아시아 타임스는 국내 장비들이 ASML의 현재 DUV 라인업보다 약 4세대 뒤처져 있다고 보도했다. ASML이 사실상 독점하고 있으며 중국이 최상위 AI 칩에 필요로 하는 EUV는 완전히 다른 기술이다.

규모 측면에서는 ASML이 압도적으로 우위에 있다. eWeek에 따르면 중국의 생산 계획은 올해 약 5대, 2027년에는 약 20대를 목표로 한다. 반면 ASML만 해도 2026년에 약 130대의 DUV 침투식 시스템을 출하할 것으로 예상하며, 2027년에는 30% 증가를 계획하고 있다. 이러한 격차는 여기서 '대량 생산'이 실제로 의미하는 바가 무엇인지, 즉 제한된 물량임을 강조한다.

모든 사람이 이 이정표를 변혁적인 것으로 여기지는 않는다. SemiAnalysis는 실제 시험대가 실험실 성능이 아니라 "장비 성능, 확장 가능한 생산, 플릿 성능, 주변 생태계, 그리고 완전히 감가상각된 ASML 장비 대비 열악한 경제성"을 유지할 수 있는지 여부라고 지적했다. 이미 중국 파운드리들이 수년간 저렴하게 구매하고 운영해 온 장비들이다. TechInsights 부회장이자 Dan Hutcheson은 단호하게 말했다. "그들이 얼마나 열심히 노력하든, 그저 제자리에 머물 뿐이다." Futurum Group의 한 분석가는 파운드리에게 진정으로 중요한 것은 수율(yield)이라고 강조했다. 장비를 한 번 운영하는 것은 하나의 성과이지만, ASML 장비들과 비교했을 때 반복적인 운영에서도 동일한 수율을 달성하는 것은 또 다른 차원의 과제다.

미국과 네덜란드의 수출 제한이 강화됨에 따라 ASML의 중국 매출 비중은 2026년 총 판매액의 33%에서 약 20%로 감소했다. 회사의 최고경영자는 추가 통제措施가 베이징의 경쟁 장비 개발을 가속화할 뿐이며, 이는 서방 기업들을 보호하기보다는 약화시킬 것이라고 경고했다. 이제 그 전망은 더 이상 가정적이기보다 선견지명적으로 읽힌다. 뱅크오브아메리카는 이 매도 현상을 과잉 반응으로 간주하며, ASML이 70% 이상의 상승 잠재력을 보유하고 있고 성숙 노드를 위한 28나노미터 장비로 인한 단기 재무적 위험은 제한적이라고 주장했다. ASML은 2026년 매출을 490억 달러에서 510억 달러로 가이드라인을 제시했으며, CFO는 회사가 장기 납기 기간 동안 축적한 희토류 비축량을 보유하고 있어 이러한 성격의 공급 쇼크에 대한 완충 역할을 한다고 언급했다.

수출 통제가 중국을 10년 뒤처지게 할 것이라고 들었을 수도 있다. 하지만 주목해야 할 예외 사례가 있다. 제재는 능력을 지연시킬 뿐, 제거하지는 않는다. 중국은 아직 EUV에 접근할 수 없으며, 이에 의존하는 최첨단 AI 칩은 여전히 손바닥 너머다. 그러나 SMIC, 화홍, CXMT에 공급되는 국산 DUV 공급망이 구축됨에 따라 중국은 이제 성숙 노드 파운드리 가동을 위해 ASML의 승인을 받을 필요가 없게 되었다. 이것이 바로 미국 정책이 베이징에 부여하지 않으려 했던 레버리지였으며, 그것이 하나하나의 28나노미터 웨이퍼를 통해 사라지고 있다.